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主管单位 中华人民共和国
工业和信息化部
主办单位 中国材料研究学会
哈尔滨工业大学
主编 苑世剑 国际刊号ISSN 1005-0299 国内刊号CN 23-1345/TB

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引用本文:李泽全,胡蓉,郭晶,茹黎月,王海华.TiO2氧空位形成的影响因素[J].材料科学与工艺,2012,20(2):80-85.DOI:10.11951/j.issn.1005-0299.20120215.
LI Ze-quan,HU Rong,GUO Jing,RU Li-yue,WANG Hai-hua.Effect on the formation of oxygen vacancy of TiO2[J].Materials Science and Technology,2012,20(2):80-85.DOI:10.11951/j.issn.1005-0299.20120215.
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TiO2氧空位形成的影响因素
李泽全, 胡蓉, 郭晶, 茹黎月, 王海华
重庆大学 化学化工学院,重庆 400044,E-mail:lzq0313@sina.com
摘要:
为了研究TiO2氧空位形成的影响因素,用管式电阻炉在空气、Ar及不同温度下对TiO2烧结.采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)对烧结TiO2样品的微观形貌、物相组成、元素及价态进行了表征,研究了烧结温度、烧结气氛和Ar+刻蚀对TiO2样品氧空位形成的影响.结果表明:相同气氛下,随着烧结温度的升高,TiO2氧空位浓度逐渐增大;相同温度下,惰性气氛有利于TiO2氧空位的产生;Ar+刻蚀有利于TiO2氧空位的形成.
关键词:  氧空位  TiO2  烧结  Ar+刻蚀
DOI:10.11951/j.issn.1005-0299.20120215
分类号:TF823;0646.5
基金项目:中央高校基本科研业务费资助项目(CDJZR10 22 0003).
Effect on the formation of oxygen vacancy of TiO2
LI Ze-quan, HU Rong, GUO Jing, RU Li-yue, WANG Hai-hua
College of Chemistry and Chemical Engineering,Chongqing Unversity,Chongqing 400044,China,E-mail:lzq0313@sina.com
Abstract:
To study the effect on the formation of oxygen vacancy of TiO2,the experiments of TiO2 sintered at air or argon atmosphere in tubular resistance furnace at different temperature were carried out.The microcosmic morphology,phase,elemental composition and valence states of sintered TiO2 were determined by scanning electron microscope (SEM),X-ray diffraction (XRD) and X-ray photoelectron spectrometer (XPS).The effect of sintering temperature,sintering atmosphere and argon ion etching on the formation of oxygen vacancies of sintered TiO2were researched.The results show that with the increasing of the sintering temperature,the concentration of oxygen vacancies is increased under the same atmosphere;the inert atmosphere (argon atmosphere) is favorable to the generation of oxygen vacancies of TiO2 under the same temperature,and the argon ion etching is contributed to the formation of oxygen vacancies of TiO2.
Key words:  oxygen vacancy  TiO2  sintering  argon ion etching

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